真空熱處理是真空技術(shù)與熱處理技術(shù)相結(jié)合的一種新型熱處理技術(shù)。在真空條件下進行真空熱處理的真空環(huán)境是指真空環(huán)境，包括低真空、中真空、高真空和超高真空。實際上，真空熱處理屬于氣氛控制熱處理。真空熱處理是指熱處理過程的全部和部分在真空狀態(tài)下進行。

采用真空熱處理可實現(xiàn)幾乎所有的常規(guī)熱處理，但其熱處理質(zhì)量有較大的提高。同傳統(tǒng)熱處理相比，真空熱處理能實現(xiàn)無氧化、無脫碳、無滲碳，能除去工件表面的磷屑，并具有除油除氣等作用，從而達到光亮、凈化表面的效果。

而且真空熱處理的價格高是因為設(shè)備貴，耗能多；每爐重量小是因為真空腔體小，容易抽真空；真空熱處理后的工件比普通熱處理工件抗氧化和耐腐蝕性強，且微觀結(jié)構(gòu)更為致密。